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  在芯片的生产的全部过程之中,光刻机的重要性不言而喻,是其最核心的设备,而光刻机的精度决定着芯片的精度。

  众所周知,荷兰的阿斯麦是唯一有能力生产出最先进EUV光刻机的厂商,即便是全球最大的芯片代工厂台积电,也都是阿斯麦的客户。假如没有阿斯麦的EUV光刻机,那么台积电全球第一的位置有很大的可能性就会被取代。

  不过受到《瓦森纳协定》影响,中国从来就没真正的买进过一台EUV光刻机,在去年的11月份世博会上,阿斯麦方面展示了自己的DUV光刻机。而这种duv光刻机是能够生产出七纳米芯片的,中国则可以从阿斯麦去购买,并且不受到美国的制约。

  也就是说阿斯麦的DUV光刻机是能够销往中国的,而这种DUV光刻机是能制造出7纳米芯片的,可是为什么大家还要抢着买EUV光刻机呢?在这样的情况下,EUV光刻机还是必须的吗?

  关于这一点,有两个重要的原因。首先来讲DUV与EUV所使用的准分子激光术不同,所以就会造成精度不同。芯片制作的完整过程之中EUV光刻机采用的是极紫外光源,波长是13.5纳米,光束功率更加强劲度也更高,7纳米芯片轻轻松松就能制造出来,即便是5纳米和更先进的3纳米也都能制造出来,可DUV不一样,duv采用的是准分子深紫外光源干时光刻技术,最高可以在一定程度上完成157纳米的波长,沉浸式光刻机技术可以在一定程度上完成193纳米,134纳米的波长。

  如此以来,双方出现的差距还是很明显的。再加上在曝光的过程之中波长更长的DUV,更多光束散射影响了精度的效率,所以虽然可以在一定程度上完成7纳米但是其良频率以及效果并不如意。

  再来就是光刻机的波长,决定着光刻技术的分辨率课套壳精度,波长短频率高的光束透镜补偿更直接,所以良品率会更加高,而精度的上限也会更加高,EUV光刻机可以在一定程度上完成7纳米,5纳米甚至是3纳米,可DUV在多次曝光之后仅仅只可以在一定程度上完成7纳米。

  而在7纳米之后就没有很好的方法再提高精度,要知道,多次曝光只会使得制造芯片的成本变得更高,所以DUV光刻机虽然能制造7纳米,但是对于国内厂商来讲,EUV依旧是必要的。

  前段时间,中芯国际发生了一件大事件,网传梁孟松辞职,信中有提到过,中芯已经攻克了3纳米以及5纳米等关键技术,现在只等EUV光刻机。一旦EUV光刻机到位,那么这些芯片就能完成量产。

  2018年,中芯国际曾经向阿斯麦购买过一台EUV光刻机,荷兰政府也给阿斯麦发出了许可。可就在这样一个时间段,美国向荷兰政府施加压力,再加上阿斯麦方面也出现了一些意外,所以导致最终这台EUV光刻机依旧没有到位。

  不过,在蒋尚义上任之后,关于阿斯麦EUV光刻机的好消息再次传来,有消息称,蒋尚义来到阿斯麦与其进行协商,希望可以将此次的EUV光刻机带回国内。不过至于究竟结果如何还是一个未知数。

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